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用于距離和位移測(cè)量的電容傳感器

在位移測(cè)量系統(tǒng)中，只有電容式傳感器提供了距離測(cè)量干涉儀的分辨率。由于電容式傳感器是完全非接觸，他們不會(huì)干擾通過(guò)接觸或通過(guò)添加質(zhì)量測(cè)量的目標(biāo)。我們的傳感器作為位移測(cè)量系統(tǒng)的典型用途包括：



測(cè)量軸的軸向位移，精密滾珠絲杠和橫膈膜。

精密機(jī)構(gòu)和階段的重復(fù)性測(cè)量。

加工零件的非接觸尺寸測(cè)量。

精密軸承的測(cè)量



精密平面的平直度測(cè)量

微觀意義上的電容傳感器制作的直線度和平面度的高精度機(jī)床和階段直接測(cè)量提供了一種方法，而平均誤差在基于激光干涉儀系統(tǒng)。





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