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pv-6060微觀意義上的非接觸光電晶片厚度、TTV和電阻率測(cè)量模塊



高穩(wěn)定性在線太陽(yáng)能硅片測(cè)量模塊，用于過(guò)程控制和質(zhì)量保證




pv-6060微觀意義上是一種高精度計(jì)量模塊提供太陽(yáng)能硅片厚度測(cè)量無(wú)與倫比的吞吐量和穩(wěn)定性，晶片的總厚度變化（TTV）和硅片電阻率。所有測(cè)量都是完全非接觸的實(shí)時(shí)模擬輸出，無(wú)晶圓破損的高通量。設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單集成到自動(dòng)化晶圓運(yùn)輸?shù)膒v-6060用OEM太陽(yáng)能硅片制造在線檢測(cè)和分選系統(tǒng)。




非接觸式太陽(yáng)能硅片測(cè)量



太陽(yáng)能硅片的厚度和TTV–1或3測(cè)量軌道

太陽(yáng)能硅片的電阻率

太陽(yáng)能晶片P或N導(dǎo)電類型（可選）



效益



先進(jìn)的高穩(wěn)定性，低噪聲電容傳感器設(shè)計(jì)亞微米分辨率和非常重復(fù)厚度測(cè)量



非接觸式電容傳感器提供真正的晶圓表面測(cè)量-晶圓表面光潔度對(duì)厚度測(cè)量精度沒(méi)有影響。



5毫米直徑傳感器用于厚度測(cè)量，提供高空間分辨率和接近晶片邊緣的測(cè)量。



模塊化設(shè)計(jì)——OEM的靈活配置，為易于集成到現(xiàn)有晶圓傳輸系統(tǒng)和傳送帶系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。