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薄膜流量傳感器
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發布時間:2021/4/8 16:47:36 | 瀏覽次數:

1介紹

通風和空調系統對建筑物的總能耗有很大的貢獻。

然而,在安裝和調試之后,很少對它們進行評估,更不用說在性能方面進行優化

它們在正常運行時的效率。其中一個原因是,除了缺乏安裝人員和

運營商——缺乏對系統進行分布式監控的有效可能性,尤其是對于大型企業

安裝。然而,分析表明,通過改進控制策略,可以節省多達40%的能源[1]。流量

空調系統中使用的傳感器應易于安裝、經濟高效且堅固耐用。微機械熱加工

眾所周知,基于薄膜技術的流量傳感器非常敏感[2,3]。然而,它們是脆弱的,而且

命名法

加熱器上下游方向熱電堆的UU、UD電壓

TDI、TDO、TUI、TUO內部(I,靠近加熱器)和外部(O,靠近外圍)的溫度

上下游方向的熱接點

ti,指中央加熱器(I)和箔材外圍(O)周圍的平均溫度

技術成本相對較高。在試圖使用相同的基本工作原理,但更穩健的設計,薄

柔性PCB(印刷電路板)載體被證明是一個很有前途的技術基礎[4,5]。關于

由于風管尺寸大,且總是湍流,傳感器也應具有一定的集成度

或者在整個空氣管道的直徑上取平均值,而不是提供點測量[6]。熱的

(量熱法)流量傳感器表現出這種特性,可以相應地調整形狀以適應不同的流道。

此外,它們可以低成本生產,例如使用標準印刷電路板技術[7]。然而,一個

這種基于PCB的傳感器的缺點是用作熱敏電阻的銅引線的電阻低,使得讀數不準確

電子挑戰。熱電堆可作為測量上游溫差的替代方法

以及暴露在水流中的加熱元件的下游。

2設計

傳感器布局如圖1a所示,其中Ag-Ni熱電堆圍繞中心電極對稱布置

鎳加熱器。介質在傳感器表面流動所引起的對流換熱影響傳感器的性能

加熱器產生的溫度場。一方面,靠近加熱器的熱接點溫度

另一方面,水流下游的整體溫度高于周邊溫度。

不同的溫度導致上下游方向的兩個熱電壓UD,UU。每個電壓為

與內外溫差成正比。

如圖1b所示,有限元模擬顯示,對于恒定的加熱功率,熱電堆的總和

作為輸出信號的電壓僅適用于約v<2 m/s的低流量范圍,以補償有效的

對流冷卻在較高的流速下,加熱功率必須通過電子調節器進行適當調節

控制器。選擇熱電堆電壓之和作為工藝參數進行控制,

由下式得出:

(a) (二)

圖1:(a)傳感器布局示意圖。銀和鎳金屬薄膜沉積在載體箔上。金屬膜形成兩個熱電堆

圍繞中心鎳加熱器對稱布置。鋁箔的長度可以調整,以適應不同的風道幾何形狀。(b) 彩色編碼

采用三維有限元法模擬了加熱器功率為100mw,最大流速為100mw時的溫度分布

vmax的正x方向=0.5 m/s。

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